Ein Prozessmodell zur Schlitzdüsen-Beschichtung schmaler Streifen

In einer neuen Studie entwickeln die Wissenschaftler ein Prozessmodell für die Schlitzdüsen-Beschichtung von schmalen Streifen variabler Breite als grundlegendes und repräsentatives Mustermerkmal für die gemusterte Schlitzdüsen-Beschichtung.

Schmale
Die selektive Abscheidung von strukturierten Schichten ohne Masken und subtraktive Nachbearbeitungsschritte kann potenziell durch eine Erweiterung der Möglichkeiten der traditionellen Schlitzdüsen-Beschichtung erreicht werden. Quelle: Kaz / Pixabay. -

Das Prozessmodell befasst sich mit der Empfindlichkeit der Streifenausgabe gegenüber der Fluidabscheiderate, der Substratgeschwindigkeit und dem Beschichtungssabstand für ein bestimmtes Beschichtungsmaterial. Um das beobachtete Prozessverhalten zu erklären, unterscheiden sie zwischen getrennten Konfigurationen der anheftenden Berührungslinie der flüssigen Brücke an der Oberfläche des Beschichtungswerkzeugs und zeigen experimentell, wie sich diese Konfigurationen auf Systeme im Prozessmodell beziehen, die separat charakterisiert werden müssen.

Ein Modell für die gemusterte Schlitzdüsen-Beschichtung

Sie zeigen auch, wie die Geometrie der flüssigen Brücke und der Bereich der Zwischenkontaktwinkel entlang ihrer Berührungslinie der beobachteten Hysterese der beschichteten Streifenbreite entsprechen.

Die Studie wurde veröffentlicht in: Journal of Coatings Technology and Research  November 2019, Volume 16, Issue 6, pp 1653–1661.

Bildquelle: Pixabay

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